ফিজিক্যাল ভ্যাপার ডিপজিশন লেপ মেশিনগুলি বিভিন্ন স্তরগুলিতে পাতলা, টেকসই ফিল্ম স্তর তৈরি করতে উন্নত ভ্যাকুয়াম প্রযুক্তি ব্যবহার করে।এই সিস্টেমগুলি প্রথমে দূষণকারীগুলি নির্মূল করার জন্য একটি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশ স্থাপন করেএই প্রক্রিয়াতে তাপীয় বাষ্পীভবন বা স্পটারিং কৌশলগুলির মাধ্যমে শক্ত আবরণ উপকরণগুলি বাষ্পীভবন করা জড়িত। স্পটারিংয়ে, আয়োনাইজড গ্যাসের কণাগুলি একটি লক্ষ্য উপাদানকে বোমা দেয়,পরবর্তীতে ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠের উপর জমা হওয়া পরমাণু সরিয়ে ফেলাবাষ্পীভবন পদ্ধতিগুলি তীব্র তাপ ব্যবহার করে লেপ উপকরণগুলিকে বাষ্পীয় পর্যায়ে রূপান্তর করে।

এই মেশিনগুলোতে সুদৃঢ় নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা রয়েছে যা তাপমাত্রা, চাপ এবং জমাট বাঁধার হার নিয়ন্ত্রণ করে যাতে ফিল্মের গুণগত মান একই থাকে।একাধিক প্রক্রিয়া চেম্বারগুলি ভ্যাকুয়াম অখণ্ডতা বজায় রেখে ধারাবাহিক লেপ অ্যাপ্লিকেশনগুলির অনুমতি দেয়উন্নত পিভিডি সিস্টেমগুলি লেপ আঠালো এবং ঘনত্ব উন্নত করতে প্লাজমা বর্ধন অন্তর্ভুক্ত করে।